士兰微获得发明专利授权：“MEMS麦克风及其制造方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示士兰微（600460）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS麦克风及其制造方法”，专利申请号为CN201911215979.3，授权日为2025年6月10日。

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专利摘要：本发明公开了一种MEMS麦克风及其制造方法。所述方法包括：在衬底上依次形成第一隔离层、膜片和第二隔离层；在第二隔离层上依次形成第一保护层、背极板电极和第二保护层；形成贯穿第一保护层、背极板电极和第二保护层的释放孔；形成贯穿衬底的声腔；经由声腔和释放孔释放膜片；以及在第一隔离层上形成凹槽，膜片共形地覆盖在第一隔离层的表面上在凹槽的位置处形成弹簧结构。本发明在释放膜片的蚀刻步骤中采用第一保护层和第二保护层保护背极板电极，使得在释放膜片时背极板电极不被腐蚀，提高了器件的性能和可靠性。并且通过在膜片上形成弹簧结构有效地释放了膜片的应力，提高了MEMS麦克风的灵敏度。

今年以来士兰微新获得专利授权36个，较去年同期增加了20%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了10.34亿元，同比增19.76%。

数据来源：天眼查APP

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