芯�微装获得发明专利授权：“双面卷对卷激光直写曝光机”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯�微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“双面卷对卷激光直写曝光机”，专利申请号为CN202310007548.8，授权日为2026年2月24日。

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专利摘要：本发明提供一种双面卷对卷激光直写曝光机，包括用于对基材进行输送的放卷装置和收卷装置，以及用于对基材进行涨紧悬空的涨紧装置，所述涨紧装置包括支撑机构，该支撑机构通过设置在曝光区域中的多个支撑杆对基材悬空的中间部位进行支撑；通过设置在非曝光区域的吸附装置对基材进行吸附固定；以及设置在侧边对基材进行夹紧的侧面夹紧机构；在支撑杆两端的放料端和收料端分别设置有端部夹紧机构，使得在曝光过程中基材始终被夹紧，避免在曝光过程中卷式基材由于精密运动平台的运动而产生振动和位移，从而影响曝光精度。

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今年以来芯�微装新获得专利授权11个，较去年同期增加了10%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了6095.32万元，同比增24.56%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯�微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目161次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息388条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可26个。

数据来源：天眼查APP

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