矽电股份获得发明专利授权：“一种载片机构、晶圆测试装置及其控制方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示矽电股份（301629）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种载片机构、晶圆测试装置及其控制方法”，专利申请号为CN202511350025.9，授权日为2026年2月27日。

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专利摘要：本发明涉及晶圆测试技术领域，公开了一种载片机构、晶圆测试装置及其控制方法。本发明的载片机构用于放置晶圆，包括：基座、滑动座、第一丝杆、第一驱动件、连接件、第二丝杆、第二驱动件、导向杆以及载片台。第一驱动件用于驱动第一丝杆转动，以使连接件以及第二丝杆相对第一丝杆升降，从而使滑动座以及载片台升降。第二驱动件用于驱动第二丝杆转动，以使第二丝杆相对连接件升降，从而使滑动座以及载片台升降。载片机构有两根丝杆都能够实现载片台的微动，且一根丝杆微动并不会对另一个丝杆产生磨损，当第一丝杆或者第二丝杆磨损之后，可以使用另一个丝杆继续驱动载片台微动，有效提升丝杆传动机构的整体使用寿命。

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今年以来矽电股份新获得专利授权10个，较去年同期增加了66.67%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2969.45万元，同比减15.32%。

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通过天眼查大数据分析，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目84次；财产线索方面有商标信息46条，专利信息458条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可17个。

数据来源：天眼查APP

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