芯�微装获得发明专利授权：“LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯�微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机”，专利申请号为CN202510224817.5，授权日为2026年4月10日。

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专利摘要：本发明公开了一种LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机，LDI曝光机包括用于拉动基板运动的运动平台和多个对准相机，运动平台位于多个对准相机的下方，对位方法包括：控制运动平台运动并获取运动平台的实时移动距离；获取对准相机的拍摄间隔距离；在实时移动距离每达到拍摄间隔距离时则触发一次图像采集信号，图像采集信号用于指示多个对准相机同步采集定位点图像信息；根据所有定位点图像信息确定每个定位点的分割图像信息；根据每个定位点的分割图像信息进行对位。采用该对位方法可以在基板上定位点分区多时最大程度地提升LDI曝光机的对位速度，避免相机冗余的问题。

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今年以来芯�微装新获得专利授权19个，较去年同期增加了35.71%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.31亿元，同比增34.33%。

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通过天眼查大数据分析，合肥芯�微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目180次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息393条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可29个。

数据来源：天眼查APP

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